konstrukcja półogniwa si anodowego . metoda eksperymentalna . w badaniach wykorzystano próbki płytek si z natywną warstwą powierzchniową siox . wszystkie elektrody krzemowe (1 cm× 1 cm kwadratowych) oczyszczono zgodnie z ustalonym wieloetapowym protokołem czyszczenia w celu usunięcia zanieczyszczeń powierzchniowych.33 wafle krzemowe (proces czochralski, z domieszką boru do 0.001− 0.005Ω cm , (100) orientacja , 700μ m grubości, zakupione od Addison Engineering) zostały użyte jako anody. zostały wycięte laserowo do powierzchni 1× 1cm2, a następnie otrzymał RCA clean.33, RCA clean został ukończony bez etapów trawienia kwasem HF, aby zachować oryginalną natywną warstwę siox.

po oczyszczeniu, elektrody suszono w piecu próżniowym w temperaturze 100° C przed wytworzeniem ogniwa. elektrolity wybrane do tego badania to 1.2 mol/l lipf6 rozpuszczone w roztworze węglanu etylenu (ec):węglanu etylu metylu (EMC) w stosunku wagowym 3:7 , odpowiednio . wszystkie elektrody si zostały użyte jako elektrody robocze w ogniwach monetowych,, gdzie lit

metal był używany jako przeciwelektroda.w każdym ogniwie, 4.3μ użyto l elektrolitu; filtry z mikrofibry szklanej (whatman, GE health sciences) o grubości 260μ m z separatorami Celgard 2325 zastosowano w montażu ogniw. ogniwa monetowe zawierające wyżej wymienione elementy zostały zmontowane w wypełnionej arką schowku., aby utrzymać ogniwa na stałym ciśnieniu wewnętrznym, o grubości 0.5 mm ze stali nierdzewnej zastosowano stalowe podkładki dystansowe i sprężyny ze stali nierdzewnej o grubości 0.3 mm . i zaciskarka do monet (Xiamen tmaxcn inc.) został wykorzystany do zakończenia montażu przy 4 s nacisku .